椭偏仪ELL

仪器型号：M-2000v，J.A. Woollam RC2，SJ.A.Woollam, M-2000DI等

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详情介绍

圆偏振法是利用椭圆偏振光入射到样品表面，观察反射光的偏振状态(振幅和位相)的变化，进而得出样品表面膜的厚度及折射率。

氦氖激光器发出激光束波长为632.8nm的单色自然光，经平行光管变成单色平行光束，再经起偏器P变成线偏振光，其振动方向由起偏器方位角决定，转动起偏器，可以改变线偏振光的振动方向，线偏振光经1/4波片后，由于双折射现象，分解成相互垂直的P波和S波，变为椭圆偏振光，椭圆的形状由起偏器的方位角来决定。椭圆偏振光以一定的角度入射到样品的表面，反射后偏振状态发生改变，一般仍为椭圆偏振光，但椭圆的方位和形状改变了。从物理光学原理可以知道，这种改变与样品表面膜层厚度及其光学常数有关，因而可以根据反射光的特性来确定膜层的厚度和折射率。

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