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分析原理：纳米压痕技术又称深度敏感压痕技术,它通过计算机控制载荷连续变化，并在线监测压入深度。一个完整的压痕过程包括两个步骤，即所谓的加载过程与卸载过程。在加载过程中，给压头施加外载荷，使之压入样品表面，随着载荷的增大，压头压入样品的深度也随之增加，当载荷达到最大值时，移除外载，样品表面会存在残留的压痕痕迹。
应用范围：压痕测试仪的基本功能是对材料的硬度、弹性模量等进行测定，涉及的材料几乎涵盖所有的材料研究领域，包括薄膜和纳米材料。
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