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XPS数据分析


测试项目:XPS数据分析
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常见问题及回答

能做哪些分析?

定性分析

首先扫描全谱,由于贺电存在使结合能升高,因此要通过C结合能284.6eV对全谱进行贺电校正,然后对感兴趣的元素扫描高分辨谱,将所得结果与标准图谱对照,由结合能确定元素种类,由化学位移确定元素的化学状态,为了是结果准确在每一次扫描得将诶过分别进行贺电校正。XPS谱图中化学位移的分析一般规律为:

1.原子失去价电子或因与电负性高的原子成健而显正电时,内层电子结合能升高。

2.原子获得电子而贺负电时,内层电子结合能减小。

3.氧化态越高,结合能越大。

4.价层发生某种变化时,所以内层电子化学位移相同。

5.对于XPS峰主量数n小的壳层比n大的峰强,n相同的角量子数l大的峰强,n,l相同的j大的峰强

定量分析:

选取最强峰的面积霍强度作为定量计算的基础,多采用灵敏度因子法,因为各元素产生光电子时的含量强度和含量不一定成正比,从而利用灵敏度因子对强度进行修正,其做法为:以峰边、背景的切线交点为准扣除背景,计算峰面积或峰强,然后分别除以相应元素的灵敏度因子法,就可得到各元素的相对含量,这个相对含量是原子个数相对含量即摩尔相对含量

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